据媒体报道,新书7月3日消息,在第九代V-NAND闪存技术的创新中,三星巧妙地将钼引入到金属化过程中(Mo)作为替代材料,与之并行的另一条路径继续沿用传统钨材料。
面对钨材料在降低层高方面已经触及的物理极限,三星前瞻性地转向钼,不仅有望进一步降低层高30%至40%,还能显著降低NAND闪存的响应时间,给数据存储领域带来前所未有的性能飞跃。三星的决定表明,NAND材料供应链即将迎来深刻的变化和重塑。
值得注意的是,钼材料的引入并不容易。它要求生产设备耐高温处理,将固态钼原料加热至600℃,转化为气态,这与六氟化钨(WF6)的处理方法完全不同。
为此,三星从Lam积极行动 Research公司推出了首批5台Mo沉积机,并计划明年再购买20台Mo沉积机,以加快其钼基NAND的生产布局。
在供应链方面,三星正在与Entegris、Air等多家领先供应商紧密合作, Liquide,为了确保钼源的稳定供应。同时,Merck等公司也积极响应,向三星提供钼材料样品,展示了行业对新技术路径的广泛支持和期待。
此外,SK海力士、美光、铠侠等行业巨头也纷纷跟进,探索在NAND生产中使用钼材料的可行性,共同推动半导体材料的创新进程。
然而,钼材料的使用也伴随着成本的增加,其市场价格比六氟化钨高出近十倍。然而,鉴于其在提高性能方面的显著优势,以及未来在DRAM和逻辑芯片领域的潜在应用前景,钼材料正成为许多企业的新最爱。这一趋势表明,六氟化钨市场将面临不可避免的收缩压力,而含钼材料市场将迅速崛起。
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