俄罗斯绕过制裁为35年前的光刻机续命：自研光刻机已亮相(俄罗斯 光刻机)

据外国媒体报道，新书9月9日报道，俄罗斯近日绕过制裁，为自己存在了35年的光刻机续命。

报告称，尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器，但俄罗斯公司在2022年和2023年仍成功获得ASML 上世纪90年代芯片制造机器的备件。

俄罗斯进口商已想尽一切办法为ASMLPASS 5500光刻工具引进了至少170批备件，而ASML 这意味着近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何联系。

ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出，并于20世纪90年代和20世纪20年代推出 世纪初不断发展。现在，，，PAS 5500系列包括i-line、氟化氪（KrF）步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩（ArF）步进扫描系统。

虽然ASML不再生产这些光刻工具，但它销售翻新的PASML 5500台机器，并计划将其支持到2035年，因此市场上有大量的备件，尤其是在中国。

然而，俄罗斯并不害怕。在此之前，他们的第一台光刻机已经制造并正在测试中。

俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克指出，该设备可以保证350nm芯片的生产。

在俄罗斯看来，虽然350nm芯片技术落后，但在汽车、能源、电信等诸多行业仍具有应用价值。

俄罗斯表示，计划到2026年实现65nm芯片节点工艺，到2027年实现28nm本地芯片制造，到2030年实现14nm国产芯片制造。

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责任编辑：雪花

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